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負載對精密平臺的性能影響

時間： 2021-07-07 11:39|瀏覽次數：

    高精度高分辨率的精密平臺在近代尖端工業生產和科學研究領域中占及其重要的地位。它是直接影響精度、超精度切割水平、精密測量水平及超大規模集成電路生產水平的關鍵環節。微型機械、微型機器人領域是未來科技發展的重要方向。在航天航空、國防、醫療、以及廣泛應用的民用工業領域都有廣闊的前景。


      平臺在空載和負載的情況下：在前進、后退、轉向時對平臺的性能都有一定的影響。
   
     1.  基座選用花崗石，花崗石基座下加隔振元件。
     
     2.平臺的橫梁選用整體石材加工完成。保證橫梁的高精度，橫梁的正面、底面都保證了很高的定位精度

     3.低速電機驅動元件（20nm的分辨率和無限行程）
  
     4. 位置反饋元件（分辨率10nm,精度0.1UM）

       為保證精度平臺的機械精度，測量精度和系統穩定性，整個工作臺在潔凈車間內采取主動式隔震臺作為減輕外界對平臺的影響的手段。進一步減少環境的影響。


    高精度高分辨率的精密平臺在近代尖端工業生產和科學研究領域中占及其重要的地位。它是直接影響精度、超精度切割水平、精密測量水平及超大規模集成電路生產水平的關鍵環節。微型機械、微型機器人領域是未來科技發展的重要方向。在航天航空、國防、醫療、以及廣泛應用的民用工業領域都有廣闊的前景。


      平臺在空載和負載的情況下：在前進、后退、轉向時對平臺的性能都有一定的影響。
   
     1.  基座選用花崗石，花崗石基座下加隔振元件。
     
     2.平臺的橫梁選用整體石材加工完成。保證橫梁的高精度，橫梁的正面、底面都保證了很高的定位精度

     3.低速電機驅動元件（20nm的分辨率和無限行程）
  
     4. 位置反饋元件（分辨率10nm,精度0.1UM）

       為保證精度平臺的機械精度，測量精度和系統穩定性，整個工作臺在潔凈車間內采取主動式隔震臺作為減輕外界對平臺的影響的手段。進一步減少環境的影響。


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